ETA620测量平台：
丝杆升降，平台上设置V型槽，用来测量形状较小的工件，可提高测量精度。
花岗岩平台工作面精度：00级（平面公差值3μm）
花岗岩平台大小尺寸：400mm×250mm×70mm
垂直升降高度：300±1mm
升降回程误差：≤手轮旋转1/6圈
TA630微调平台：
X—Y平面转角，俯仰角。
调整范围：X向 ±12.5mm Y向：±12.5mm
旋转角度：粗调 360 微调±5 俯仰角度 0～5
TA631微调平台：
X—Y平面转角。
调整范围：X向 ±12.5mm Y向：±12.5mm
旋转角度：粗调 360 微调±5
TA650测量平台（TR300专用）
垂直方向上的升降高度：300±1mm （微调由仪器上的可调支架完成）
垂直方向上的旋转角度：±45°
回程误差：不大于手轮的1／6圈
平台的平面度：00级
平台尺寸：600 X 420 X 80 mm
总高度：695 mm
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